靶材产品介绍

 

单质靶材:铜(Cu)靶材,铟(In)靶材,硒(Se)靶材等

合金靶材:铜铟(CuIn)靶材,铜镓(CuGa)靶材,铜锌(CuZn)靶材,铜镓铟(CuGaIn)靶材;铜铟镓硒(CuInGaSe)靶材,铋碲硒(BiTeSe)靶材,铋锑碲(BiSbTe)靶材,锗锑碲(GeSbTe)靶材,

碲化物靶材:碲化铋(Bi2Te3)靶材,碲化锑(Sb2Te3)靶材,碲化锌(ZnTe)靶材,碲化铜(CuTe)靶材,碲化铅(PbTe)靶材,碲化铟(InTe)靶材,碲化镉(CdTe)靶材等

硒化物靶材:硒化铋(Bi2Se3)靶材,硒化锑(Sb2Se3)靶材,硒化铜(CuSe)靶材,硒化铅(PbSe)靶材等

锑化物靶材:锑化铟(InSb)靶材,锑化镉(CdSb)靶材,锑化锌(Zn4Sb3)靶材等

硫化物靶材:硫化锌(ZnS)靶材,硫化铟(In2S3)靶材,硫化镉(CdS)靶材,硫化铋(Bi2S3)靶材,硫化镓(Ga2S3)靶材,硫化铜(CuS2)靶材等

氧化物靶材:氧化锌(ZnO)靶材,氧化镓(Ga2O3)靶材,氧化铟(In2O3)靶材,氧化铝(Al2O3)靶材等

氮化物靶材:氮化铟(InN)靶材,氮化镓(GaN)靶材

 

靶材选购注意事项

优质靶材特点:高纯度,高致密度,晶粒细,绑定工艺成熟!

1.致密度(density),致密度是靶材选购的重要参考指标,好的靶密度至少达到97%以上,致密度可以根据重量体积来计算,致密度低于90%的会影响使用。

2.纯度(purity):非常关键的参数,要强调靶材的纯度而不是原材料的纯度,

3. 陶磁靶很容易开裂,一定要求用Cu的背板,并有利于散热。另外靶材不宜太厚,小于5mm最好了。金属靶是不大会开裂的,否则它的密度肯定很差。

4. 电导率(conductivity),对于AZO,ITO靶材来说,可以测测他们的电导率是多少,不同公司用的粉不同,电导率有很大差别,越小做出来的膜导电性肯定越好了。